So'nggi yillarda mamlakatning sensor texnologiyasi jadal rivojlanmoqda va uning ariza sohalari ham kengayib bormoqda. Zamonaviy o'lchov texnologiyasi, yangi texnologiyalar, yangi materiallar va yangi jarayonlar tazyiqsiz dazmollar sohasida doimiy rivojlanmoqda.
Bosim sensori - bosim signallarini aniqlash va ba'zi qoidalarga muvofiq elektr signallariga almashtirish uchun ishlatiladigan qurilma. U turli xil ishlab chiqarishda, sanoat va aerokosmik sohalarda keng qo'llaniladi. Yuqori haroratli va og'ir muhitda bosimli muhitlar, masalan, yuqori haroratli va qattiqqo'llikdagi o'simliklar, masalan, oddiy bosimli dazmollar, masalan, o'rtacha harorat 120 ° C dan past). ° C) buziladi, natijada bosimni o'lchash etishmovchiligi keltiriladi. Shuning uchun yuqori harorat bosimi juda muhim ilmiy yo'nalishlarga aylanadi.
Yuqori haroratni tasniflashbosimli sensorlar
Yuqori haroratli bosimli sensorlar, SOI-ning yuqori haroratli bosimi va boshqa turli xil turdagi tokchalarni va boshqa har xil turdagi tokchalarni va boshqa haroratli dazinlar, SOIning yuqori harorat bosimi va boshqa turli xil turlarga bo'linadi. Yuqori haroratli bosimli sensorlar juda ideal. Quyida asosan Soi yuqori harorat bosimining bosimi bilan tanishtiradi.
Soi yuqori harorat bosimi sensori
Soli yuqori bosimli bosimning rivojlanishi asosan Si-Substratli sater va substrat qatlami bilan tuzilgan kremniy va substrat qatlami o'rtasida tuzilishga imkon beradi. U qurilmasining yuqori qismidagi yuqori haroratli bo'lganligi sababli, qo'shimcha qo'shimchalar.
Hozirgi vaqtda Soi yuqori haroratli bosimli sensorlar muvaffaqiyatli rivojlanmoqda va ish harorati - AQShdagi Goodrixning rivojlangan sensor texnologiyasi markazi tomonidan ishlab chiqilgan; Frantsiyaning yuqori haroratli bosimi 400 ° C dan ortiq bo'lgan Soi yuqori bosimli sensorda, shuningdek, 400 ° Cent-ga egalik qiladi, shuningdek, Si'an Jiabong universiteti, Tianzin universiteti va Pekin universiteti kabi SOI yuqori bosimli sensorlar bo'yicha tadqiqotlar olib borilmoqda. Bundan tashqari, FATRI Kelkajakdagi Kengaytirilgan texnologiya ilmiy-tadqiqot instituti, shuningdek, tegishli ilmiy-tadqiqot ishlarini olib bormoqda va joriy loyiha ko'rgazma bosqichiga kirdi.
Soli yuqori bosimli sensorining ishlash printsipi
Aslida, Soli yuqori bosimli sensor asosan kremniy kristalining turg'unligi o'zgaradi, bu esa silika kristalining turkumining o'zgarishiga olib keladi, bu sii yuqori qurilma qatlamiga qarshilik ko'rsatadi. 2-rasmda (a) rasmda ko'rsatilganidek bug'doy tosh ko'prigi; Bosimning orqaga chambarchas shari katakchasini shakllantirish uchun so Suma substrati ustida etaklangan.
2-rasm (a) bug'doy tosh ko'prigi
O'zgarish uchun bosimni sezgir tuzilmani, Piezoradrsarning o'zgarishi qarshiligi bo'lsa, natijada chiquvchi kuchlanishning o'zgarishi, shuningdek, bosimning kuchlanish qiymati va piezoradrsarning qarshiligi o'rtasidagi munosabatlar natijasida o'lchanadi.
Soli yuqori harorat bosimi sensorining uydirma jarayoni
Soi yuqori haroratli bosimli sensorning tayyorlanish jarayoni ko'p sonli jarayonlarni o'z ichiga oladi. Ba'zi bir asosiy qadamlar sensorning jarayonini, asosan, piizordorlar tayyorlash, metall qo'rqinchli tayyorlash, bosimli filmlarni tayyorlash va bosimli bosim o'tkazish uchun bu erda ba'zi muhim bosqichlar qisqacha joriy etiladi.
Varistorlarni tayyorlashning kaliti doping kontsentratsiyasi nazorati va keyinchalik etaklangan shakllantirish jarayonini optimallashtirishda yotadi; Metall qo'rg'oshin qatlami asosan bug'doy tosh ko'prikining ulanishiga xizmat qiladi; Ta'sirchan filmni tayyorlash asosan chuqur kremniy etikon jarayoniga tayanadi; Bo'shliqning qadoqi odatda bosim sensori qo'llanilishiga qarab o'zgaradi,
Yuqori haroratli bosimi va aeroporlar kabi yuqori haroratli teatrlarning bosimni o'lchash talablari, masalan, yuqori haroratli tazyiqlar va yuqori haroratli xususiyatlarga ega bo'lganligi sababli, yuqori haroratli tazyiqlar va yuqori haroratli xususiyatlarga ega bo'lganligi sababli. Soi yuqori haroratli bosimi bo'yicha kelajakdagi izlanishlar sensorlarning yuqori haroratli muhitida sensorlarning barqarorligi va o'zini isitish muammolarini hal qilishga va bosim sensorlarining aniqligini oshirishga qaratilgan bo'lishi kerak. Shakl.
Albatta, aqlli davrning kelishi, shuningdek, boshqa ko'p haroratga teng bo'lgan sensorga o'z-o'zini kompensatsiya, o'z-o'zini kalibrlash va ma'lumotlarni saqlash, masalan, o'z-o'zini kompensatsiya, o'z-o'zini kalibrlash va ma'lumotlarni saqlash kabi ongli ekologik bosimni yanada to'ldiradi. .
O'tish vaqti: Mar-03-2023